گاز نیتروژن تری فلوراید

گاز نیتروژن تری فلوراید

Trifluoride Nitrogenیا نیتروژن تری فلوراید ترکیب معدنی با فرمول NF3 است. این ترکیب نیتروژن فلوئور بی رنگ، سمی، بی بوو گازی غیر آتش زاست.

کاربرد گاز نیتروژن تری فلوراید

Nitrogen trifluoride در اچ پلاسما کاربرد فراوانی دارد . امروزه عمدتا در تمیز کردن اتاق های PECVD برای تولید حجم بالایی از صفحه نمایش های کریستال مایع و سلول های خورشیدی فیلم نازک ( سیلیکونی ) استفاده می شود . NF3 در ترکیبات سازنده تنگستن قابل استفاده است . گاز NF3 به عنوان یک جایگزین سازگار با محیط زیست ترجیح داده شده است.
در فرایند تولید پلاسما نیز کاربرد دارد . NF3 معمولا به اتمسفر فرار میکند و اخیرا سیستم های کاهش انتشار گاز ها ( گازهای گلخانه ای و ..) از این فرار جلوگیری میکند نیتروژن تری فلوراید در ترکیبات نوعی لیزر شیمیایی استفاده می شود. گاز NF3 گازی حامل با ثباتی بالاست . NF3 سازگار با فولاد و مونل ، و همچنین چندین پلاستیک است استفاده از NF3 در صنایع میکرو الکترونیک , رو به افزایش است .

 

خواص گاز نیتروژن تری فلوراید

 

نام شیمیایی

Nitrogen trifluoride

فرمول ملکولی

NF3

جرم ملکولی

۷۱٫۰۰ g/mol

نقطه جوش ( درجه سلسیوس )

−۱۲۹٫۱ °C; −۲۰۰٫۴ °F; 144.1 K

CAS number

۷۷۸۳-۵۴-۲

 

Scroll to Top